ｴｽﾃｯｸ　マスフローコントローラ
ＳＥＣ－Ｅ５０ＭＫ３

定価（税抜） 138,000円

税込151,800円

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マスフローコントローラ MASS FLOW CONTROLLERS

微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル。
±1.0％フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答。
オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性。

商品詳細

商品コード	65-0912
カタログ商品名	マスフローコントローラ
型式	SEC-E50MK3
定価(税抜)	151,800 (138,000)	お問い合わせ (お問い合わせ)
三商在庫	非在庫品・お問合せ
標準納期	お問合せ下さい
対応ガス種	非腐食性ガス（MK3モデルはN₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）
フルスケール流量（N₂）	20～30SLM
流量制御範囲	2～100％F.S.
流量制度	±1％F.S.
使用環境温度	5～50℃（精度保証15～35℃）
応答性	1秒以内（T98）
直線性	±0.5％F.S.
再現性	±0.2％F.S.
動作差圧	50～300kPa（10SCCM～5SLM）（d）、100～300kPa（10～30SLM）（d）
外部リークレート	1×10^－¹⁰Pa・m³/s（He）以下
流量設定信号	0.1～5VDC/2～100％F.S.
流量出力信号	0～5VDC（0～100%F.S.）
駆動電源	＋15VDC ±5％ 50mA、－15VDC ±5％ 150mA（3VA）
接ガス部材質	SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス
標準継手	1/4Swagelok、VCR
単品カタログ及び資料等
備考	※専用電源ユニット（PE-D20）、接続ケーブル（SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M）もご用意がございますのでお問合せ下さい。 ※E50MK3は、ガス種限定モデル（N₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）です。 ※検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途有償で発行致します。お問合せ下さい。
注意事項	※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。
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この商品のバリエーション

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三商のｴｽﾃｯｸ　マスフローコントローラ　ＳＥＣ－Ｅ５０ＭＫ３の商品情報です。三商は理化学機器、医療用機器、気象計測器工業薬品、計測器、プラスチック製品、組織培養、環境測定に関する商品を扱う商社です。

マーク	名称	説明
	新製品	今回新しく掲載した商品です。
	おすすめ	商品スペック、価格とも自信をもっておすすめします。
	受注生産	ご注文を頂いてから製造致します。返品不可。
	ケース売り	ケース単位、包装単位でのみの販売となります。
	梱包実費	梱包費用を実費分請求させて頂きます。
	送料実費	送料を実費分請求させて頂きます。
	直送品	ご指定場所直送の商品。送料実費。
	要冷品	冷蔵・冷凍の商品。送料実費。
	返品不可	この商品の返品・交換はご容赦下さい。
	JR-1	ガラス器具の等級、ほうけい酸ガラス－１。
	JR-2	ガラス器具の等級、ほうけい酸ガラス－２。

マーク	名称	説明
	JR-3	ガラス器具の等級、ソーダ石灰ガラス。
	デモ機貸出	デモ機をご用意しております。
	サンプル対応品	サンプルをご用意しております。
	クラスI	一般医療機器。故障時のリスクが低い商品。
	クラスI特保	クラスIの中で修理等の際に専門知識を要する商品。
	クラスII	管理医療機器。故障時のリスクが中度の商品。
	クラスII特保	クラスIIの中で修理等の際に専門的知識を要する商品。
	RoHS対応	RoHS指令対応商品です。
	SDS	安全データシート発行可。
	劇毒物	医薬用外劇物及び毒物に指定された商品。