65-0911
HORIBA
エステック マスフローコントローラ
SEC-E40MK3
税込109,450円
標準納期:お問合せ下さい
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マスフローコントローラ MASS FLOW CONTROLLERS
- 微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル。
- ±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答。
- オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性。
商品詳細
商品コード | 65-0911 |
---|---|
カタログ商品名 | マスフローコントローラ |
型式 | SEC-E40MK3 |
定価(税抜) | 109,450 (99,500) |
三商在庫 | 非在庫品・お問合せ |
標準納期 | お問合せ下さい |
対応ガス種 | 非腐食性ガス(MK3モデルはN2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応) |
フルスケール流量(N2) | 10SCCM~10SLM |
流量制御範囲 | 2~100%F.S. |
流量制度 | ±1%F.S. |
使用環境温度 | 5~50℃(精度保証15~35℃) |
応答性 | 1秒以内(T98) |
直線性 | ±0.5%F.S. |
再現性 | ±0.2%F.S. |
動作差圧 | 50~300kPa(10SCCM~5SLM)(d)、100~300kPa(10~30SLM)(d) |
外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 |
流量設定信号 | 0.1~5VDC/2~100%F.S. |
流量出力信号 | 0~5VDC(0~100%F.S.) |
駆動電源 | +15VDC ±5% 50mA、-15VDC ±5% 150mA(3VA) |
接ガス部材質 | SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス |
標準継手 | 1/4Swagelok、VCR |
単品カタログ 及び資料等 |
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備考 |
※専用電源ユニット(PE-D20)、接続ケーブル(SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M)もご用意がございますのでお問合せ下さい。 ※E40MK3は、ガス種限定モデル(N2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応)です。 ※検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途有償で発行致します。お問合せ下さい。 |
注意事項 |
※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。 |
各種マーク |
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この商品のバリエーション
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