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写真はCLH-21CD（Ⅴ）です
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写真はCLH-21CD（Ⅴ）です
46-1456
ハイテンプクリーンオーブン
ＣＬＨ－２１ＣＤＨ（Ⅲ）
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※在庫数は2025年12月16日 午前9:00現在のものです。
ハイテンプクリーンオーブン HIGH TEMPERATURE CLEAN OVEN
- 耐熱高性能フィルターと冷却器の組合せにより、温度安定時の槽内をクラス100（ISO：クラス5）の環境下に維持、かつ、高温でのクリーン加熱が可能です。
- ドアシール部（発泡シリコン）の熱影響低減のために水冷式を採用。高い気密性を実現しました。
- ガス導入管を標準装備しており、不活性ガスを導入することで低酸素濃度雰囲気での処理も可能。
- 冷却機構を標準装備とし、冷却時間の短縮ができます。
- 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
商品詳細
| 商品コード | 46-1456 |
|---|---|
| カタログ商品名 | ハイテンプクリーンオーブン |
| 型式 | CLH-21CDH（Ⅲ） |
| 定価(税抜) | お問い合わせ |
| 三商在庫 | 非在庫品・お問合せ |
| 標準納期 | お問合せ下さい |
| 方式 | 強制送風循環（サイドフロー） |
| 最高使用温度 | 530℃ |
| 常用使用温度範囲 | （室温＋70）～530℃ |
| 温度分布精度 | ±8℃（at530℃） |
| 最高温度到達時間 | 90分以内 室温＋70→530℃ |
| ヒータ | シーズヒータ |
| ヒータ容量 | 33.6kW |
| 到達酸素濃度 | 20ppm以下 到達時間：45分以内（N2 250L/min導入） |
| 排気口 | 1Bボールバルブ止め |
| ガス（N2） | 取り口サイズ：3/8Bボールバルブ止め、供給圧力：0.4～0.6MPa、MAX流量：250L/min |
| 給水 炉体用 |
取り口サイズ：3/8Bボールバルブ止め、供給圧/差圧：MAX0.35MPa/MIN0.1MPa、MIN流量：2L/min |
| 給水 冷却器用 |
取り口サイズ：1/2Bボールバルブ止め、供給圧/差圧：MAX0.35MPa/MIN0.1MPa、MIN流量：15L/min |
| 内寸法 | W670×D500×H700mm |
| 容量 | 235L |
| 外寸法 | W1285×D1605×H2020mm |
| 重量 | 約1050kg |
| 電源 | 三相200V 50/60Hz 150A |
| 単品カタログ 及び資料等 |
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| 備考 | |
| 注意事項 |
最新カタログ非掲載 |
| 各種マーク |
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三商のハイテンプクリーンオーブン ＣＬＨ－２１ＣＤＨ（Ⅲ）の商品情報です。三商は理化学機器、医療用機器、気象計測器 工業薬品 、計測器、プラスチック製品、組織培養、環境測定に関する商品を扱う商社です。
