46-1456
ハイテンプクリーンオーブン
CLH-21CDH(Ⅲ)
税込10,158,500円
標準納期:お問合せ下さい
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※弊社の在庫数量に対して一定割合以上のご注文を頂戴した際には、当該商品の流通状況によって出荷数量をご相談させていただく場合がございますのでご了承ください。
※在庫数は2024年11月13日 午前9:00現在のものです。
ハイテンプクリーンオーブン HIGH TEMPERATURE CLEAN OVEN
- 耐熱高性能フィルターと冷却器の組合せにより、温度安定時の槽内をクラス100(ISO:クラス5)の環境下に維持、かつ、高温でのクリーン加熱が可能です。
- ドアシール部(発泡シリコン)の熱影響低減のために水冷式を採用。高い気密性を実現しました。
- ガス導入管を標準装備しており、不活性ガスを導入することで低酸素濃度雰囲気での処理も可能。
- 冷却機構を標準装備とし、冷却時間の短縮ができます。
- 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキングなど高精度処理が要求される用途に最適。
商品詳細
商品コード | 46-1456 |
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カタログ商品名 | ハイテンプクリーンオーブン |
型式 | CLH-21CDH(Ⅲ) |
定価(税抜) | 10,158,500 (9,235,000) |
三商在庫 | 非在庫品・お問合せ |
標準納期 | お問合せ下さい |
方式 | 強制送風循環(サイドフロー) |
最高使用温度 | 530℃ |
常用使用温度範囲 | (室温+70)~530℃ |
温度分布精度 | ±8℃(at530℃) |
最高温度到達時間 | 90分以内 室温+70→530℃ |
ヒータ | シーズヒータ |
ヒータ容量 | 33.6kW |
到達酸素濃度 | 20ppm以下 到達時間:45分以内(N2 250L/min導入) |
排気口 | 1Bボールバルブ止め |
ガス(N2) | 取り口サイズ:3/8Bボールバルブ止め、供給圧力:0.4~0.6MPa、MAX流量:250L/min |
給水 炉体用 |
取り口サイズ:3/8Bボールバルブ止め、供給圧/差圧:MAX0.35MPa/MIN0.1MPa、MIN流量:2L/min |
給水 冷却器用 |
取り口サイズ:1/2Bボールバルブ止め、供給圧/差圧:MAX0.35MPa/MIN0.1MPa、MIN流量:15L/min |
内寸法 | W670×D500×H700mm |
容量 | 235L |
外寸法 | W1285×D1605×H2020mm |
重量 | 約1050kg |
電源 | 三相200V 50/60Hz 150A |
単品カタログ 及び資料等 |
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備考 | |
注意事項 | |
各種マーク |
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※土日祝・休業日は商品発送を行っていないため、標準納期の日数には含まれませんのでご注意下さい。
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この商品のバリエーション
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